| Specification name | Specification value |
|---|---|
| 高度控制（线激光）：行走单元，最小轴速 | 30 mm/s |
| 视觉测试（相机）：测试表面尺寸，长度 | 300 mm |
| 高度控制（线激光）：测试表面尺寸，最小长度 | 10 mm |
| 高度控制（线激光）：行走单元，最大轴速 | 200 mm/s |
| 高度控制（线激光）：测试表面尺寸，最大宽度 | 200 mm |
| 高度控制（线激光）：测试表面尺寸，最小宽度 | 5 mm |
| Specification name | Specification value |
|---|---|
| 高度控制（线激光）：行走单元，最小轴速 | 30 mm/s |
| 视觉测试（相机）：测试表面尺寸，长度 | 300 mm |
| 高度控制（线激光）：测试表面尺寸，最小长度 | 10 mm |
| 高度控制（线激光）：行走单元，最大轴速 | 200 mm/s |
| 高度控制（线激光）：测试表面尺寸，最大宽度 | 200 mm |
| 高度控制（线激光）：测试表面尺寸，最小宽度 | 5 mm |
